深圳市梦启半导体装备有限公司

晶圆倒角

全自动高精密晶圆倒角机

型号:DL-SC150A

全自动高精密倒角机具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能,满足各类工艺需求。可进行0.4mm-1.5mm厚的晶圆双面倒角加工。

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全自动高精密晶圆倒角机
设备优势

◎ 晶圆倒角单元采用侧向进给磨削原理,兼容中Ø4'' / Ø6'' / Ø8''(Φ100~Φ200)晶圆倒角加工。


◎ 设备配有精密在线测量厚度仪单元和CCD视觉模组,加工时先测量产品厚度和精确定位圆心控制倒角角度。加工完后可测量直径,真圆度,直线边到圆心尺寸,倒角边尺寸。


◎ 设备具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能,满足各类工艺需求。


◎ 设备核心磨削主轴、承片主轴及视觉定位和测厚系统都是自主研发生产。


爱彩8◎ 全自动上下料和不良品下料工位。可进行0.4mm-1.5mm厚的晶圆双面倒角加工。


爱彩8◎ 配置了触摸式液晶显示器,提高了操作便利性。控制画面可同步显示加工状况和设备状态,操作人员只要触摸控制画面上的按钮,就可以简单地完成操作。


性能参数
参数名称单位DL-SC150ADL-SC200A
晶圆尺寸in兼容Ø4''/Ø6''

兼容Ø4''/Ø6''/Ø8''

研磨方式-晶圆旋转进给磨削
砂轮直径mmØ205金刚石砂轮Ø205金刚石砂轮
主轴
额定功率
KW11
额定转速范围RPM500~3000500~3000
Notch主轴
额定功率KW-0.5
额定转速范围RPM-1000~60000
产品和研磨台定位精度um±4±4
厚度测量重复精度um±2±2
磨削精度直径控制精度um1515
晶圆真圆度控制能力um<10<10
倒角面幅精度um<20<20
平边/次平边角度控制能力±0.05±0.05
设备尺寸(W x D x H)mm2000x1150x19502000x1150x1950
设备重量KG约1000约1000
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晶圆倒角爱彩8机根据客户不同的需求进行定制,满足不同客户的需求,拥有专业技术团队,设备精度高,负责上门安装调试及培训

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